1959
Der Physiker Richard Feynman hält unter dem Titel: "There's Plenty of Room at the Bottom" vor der Amerikanischen Physikalischen Gesellschaft eine wegweisende Rede zu einer zukünftigen Nanotechnologie.

1981
Am IBM Forschungslaboratorium in Zürich entwickeln Gerd Binnig und Heinrich Rohrer das Rastertunnelmikroskop. Mit seiner Hilfe können erstmals Atome nicht nur sichtbar gemacht sondern auch bewegt werden.
In den "Proceedings of the National Academy of Sciences" (PNAS) erscheint die erste Fachveröffentlichung zum Thema molekulare Nanotechnologie. Der Autor ist Eric Drexler, ein Forscher am Space Systems Laboratory des Massachussetts Institute of Technology (MIT).

1985
Richard Smalley von der amerikanischen Rice Universität entdeckt eine völlig neue Form des Kohlenstoffs: Ein fußballförmiges Molekül aus 60 Kohlenstoffatomen, das Buckminsterfulleren.

1986
Gerd Binnig und Heinrich Rohrer erhalten den Nobelpreis für ihre Entwicklung des Rastertunnelmikroskops.
Der am MIT arbeitende Ingenieur Eric Drexler gründet das Foresight Institute in Palo Alto, Kalifornien. Widmen soll sich das Institut den "kommenden Möglichkeiten, Materialien und Produkte mit atomarer Präzision zu bauen."

1987
Die Forscher Theodore Fulton and Gerlad Dolan von den Bell Laboratories konstruieren den ersten Ein-Elektron-Transistor. 1988 synthetisieren William deGrado und seine Kollegen an der DuPont Universität erstmals ein Protein, in dem sie es Baustein für Baustein entwerfen und konstruieren. An der amerikanischen Stanford Universität wird zum ersten Mal offiziell ein Kurs "Nanotechnologie" angeboten. Der Dozent: Eric Drexler.

1989
Züricher IBM-Forscher schreiben mithilfe des Rastertunnelmikroskops aus 35 Xenonatomen das Logo ihres Unternehmens auf eine Atomoberfläche.
Die erste internationale Nanotechnologie-Konferenz findet in Palo Alto, Kalifornien statt.

1990
Die Nanotechnologie erhält erstmals ein eigenes Fachjournal: Die erste Ausgabe von "Nanotechnology", herausgegeben vom britischen Institute of Physics erscheint im Juli.

1991
Der japanische Forscher Sumio Iijima entdeckt die Nanotubes, wenige Nanometer kleine Röhrchen aus Kohlenstoff mit ungewöhnlichen Eigenschaften. Mehrere Unternehmen beginnen eigene Forschungsprogramme zur Nanotechnologie, darunter auch IBM. J. A. Armstrong, Leiter der Forschung, schreibt dazu: "Ich glaube, dass Nanowissenschaft und Nanotechnologie zentral für die nächste Epoche des Informationszeitalters sein werden..."
Auch das japanische Handels- und Industrieministerium will Nanoforschung verstärkt fördern.

1992
Das renommierte Wissenschaftsmagazin Nature veranstaltet in Tokio ihre erste internationale Nanotechnologiekonferenz.
Im gleichen Jahr stellt das Institute for Scientific Information fest, dass die Vorsilbe "nano..." unter den neuen Fachjournalen besonders häufig vertreten ist.

1996
Richard Smalley erhält den Nobelpreis für seine Entdeckung des Buckminsterfullerens.

1997
Nadrian Seeman von der New York Universität konstruiert ein DNA-basiertes nanomechanisches Bauteil und demonstriert damit die generelle Eignung der DNA für nanotechnologische Anwendungen.

1998
Forscher des IBM Nanotechnologieprogramms entwickeln den ersten Nanotube-Transistor. Ein einzelnes Nanoröhrchen wurde dafür auf einen Silizium-basierten Feldeffekttransistor appliziert.

1999
Mark Reed und James Tour von der Yale Universität entwickeln einen elektronischen Schalter aus nur einem organischen Molekül.
In Deutschland werden unter Förderung des BMBF fünf neue Kompetenzzentren für Nanotechnologie eingerichtet. Ihre Forschungsschwerpunkte umfassen unter anderem Nanoanalytik, Nanostrukturen für die Optoelektronik, ultradünne funktionelle Schichten und Nanochemie.

2000
Forscher der Cornell Universität erschaffen einen funktionierenden Nanopropeller durch Kombination eines Enzyms mit winzigen Nickelpropellern.
Der amerikanische Computerexperte Bill Joy warnt im Magazin "Wired" vor den Risiken der Zukunftstechnologien und beschwört Visionen von alles zerstörenden amoklaufenden Nanobots herauf. Sein Artikel sorgt weltweit für Aufsehen und kontroverse Diskussionen.

2001
Forscher von IBM und der Universität von Delft konstruieren die ersten Nanotransistoren und logischen Gatter, die komplett aus Nanoröhrchen bestehen.

2002
Forscher der Cornell Universität konstruieren einen Transistor aus nur einem speziell entworfenen und konstruierten Molekül zwischen zwei Goldelektroden.
Der taiwanesische Halbleiterhersteller TSMC kündigt an, einen nur neun Nanometer kleinen CMOS Transistor bauen zu wollen.